GTS-institutterne bringer ny teknologisk viden i spil i danske virksomheder

Læs mere

Danmarks teknologiske infrastruktur

Skatterometriske og Ellipsometriske målinger

Tyndfilm og strukturer med dimensioner på nanometerskala finder anvendelser i halvledere, mikroelektronikske og mikromekaniske systemer, biometriske apparater, samt optiske komponenter. Ikke-destruktiv karakterisering af sådanne strukturer er en vigtig del af kvalitetskontrollen i produktion og i udviklingen af nye produkter.

Skatterometri og ellipsometri er optiske teknikker til bestemmelse materialers egenskaber ud fra målinger af lysets refleksion samt ændringer i lysets polarisationen. Sådanne målinger giver information om materialers optiske egenskaber og tykkelse, samt dimensionerne af optiske gitre. Resultaterne opnås ved at sammenligne den målte polarisationsændring med en model af den fysiske prøve.

DFM udfører ellipsometri og skatterometriske målinger på tyndfilmsprøver og gitre:

  • Tyndfilm: Prøver med diametre fra 1” til 6” og filmtykkelser mellem 50 nm og 100 µm Eksempler på tyndfilmmaterialer inkluderer SiO2, HfO2, polymerer, Si, InP og glas. De bedste resultater opnås for prøver med store forskelle i brydningsindeks og optisk absorption.
  • Silicium gitre: Prøver med diametre fra 1” til 6”, arealer af gitre fra 1 mm2, perioder fra 300 nm til 1000 nm, højder fra 100 nm til 2000 nm.

DFMs ellipsometriske ydelser er målrettet metrologiske anvendelser via sporbarhed til SI meteren. Et gennemarbejdet usikkerhedsbudget tilbydes sammen med måleresultaterne.

De skatterometriske ydelser er målrettet industriel anvendelse og inkluderer målehastigheder ned til 10 ms. Udstyret er transportabelt, og målinger kan udføres hos kunden.

Målgruppe: Tyndfilmfabrikanter i halvlederindustrien, hurtig produktion inden for plastindustri og roll-to-roll fabrikation, samt producenter af optiske gitre til bl.a. telekomindustrien.



Læs mere



Services og ydelser tilknyttet faciliteten


Del med dine kolleger
Fra samme kategori

Emneopmåling - Geometri og længde

Teknologisk Institut har opbygget avancerede måletekniske laboratorier, inklusive industriel CT Scanning.

Laboratorie til printet elektronik

Teknologisk Institut printer blæk til printet elektronik på det digitale udstyr F-series fra Ceradrop.

Luftkalibreringsanlæg

Luftkalibreringsanlægget anvendes til førstegangsverifikation, kontrol og re-kalibrering af volumen-, masse- og dP-målere.

Lindoe Component and Structure Testing

FORCE Technology og LORC har etableret Lindoe Component and Structure Testing A/S med fokus på fuldskalatest af komponenter og systemer - mekanisk og i klimakammer.

Ruhed - kalibrering af instrumenter og normaler

DFM har faciliteter til kalibrering af håndholdte ruhedsmålere og ruhedsnormaler med et måleområde fra 0.2 µm til 2.0 µm. Kalibreringsydelserne er DANAK akkrediterede i henhold til ISO 17025.

Industriel 3D-print

På Teknologisk Institut har vi slået dørene op for Danmarks eneste faclitet for industriel 3D-print. Vi demonstrerer og udvikler det industrielle potentiale ved 3D-print i produktionen i Danmark.