GTS-institutterne bringer ny teknologisk viden i spil i danske virksomheder

Læs mere

Danmarks teknologiske infrastruktur

Skatterometriske og Ellipsometriske målinger

Tyndfilm og strukturer med dimensioner på nanometerskala finder anvendelser i halvledere, mikroelektronikske og mikromekaniske systemer, biometriske apparater, samt optiske komponenter. Ikke-destruktiv karakterisering af sådanne strukturer er en vigtig del af kvalitetskontrollen i produktion og i udviklingen af nye produkter.

Skatterometri og ellipsometri er optiske teknikker til bestemmelse materialers egenskaber ud fra målinger af lysets refleksion samt ændringer i lysets polarisationen. Sådanne målinger giver information om materialers optiske egenskaber og tykkelse, samt dimensionerne af optiske gitre. Resultaterne opnås ved at sammenligne den målte polarisationsændring med en model af den fysiske prøve.

DFM udfører ellipsometri og skatterometriske målinger på tyndfilmsprøver og gitre:

  • Tyndfilm: Prøver med diametre fra 1” til 6” og filmtykkelser mellem 50 nm og 100 µm Eksempler på tyndfilmmaterialer inkluderer SiO2, HfO2, polymerer, Si, InP og glas. De bedste resultater opnås for prøver med store forskelle i brydningsindeks og optisk absorption.
  • Silicium gitre: Prøver med diametre fra 1” til 6”, arealer af gitre fra 1 mm2, perioder fra 300 nm til 1000 nm, højder fra 100 nm til 2000 nm.

DFMs ellipsometriske ydelser er målrettet metrologiske anvendelser via sporbarhed til SI meteren. Et gennemarbejdet usikkerhedsbudget tilbydes sammen med måleresultaterne.

De skatterometriske ydelser er målrettet industriel anvendelse og inkluderer målehastigheder ned til 10 ms. Udstyret er transportabelt, og målinger kan udføres hos kunden.

Målgruppe: Tyndfilmfabrikanter i halvlederindustrien, hurtig produktion inden for plastindustri og roll-to-roll fabrikation, samt producenter af optiske gitre til bl.a. telekomindustrien.



Læs mere



Services og ydelser tilknyttet faciliteten


Del med dine kolleger
Fra samme kategori

DBI’s gaslaboratorium giver adgang til hele Europa

Gasforbrugende apparater bliver testet på DBI’s gaslaboratorium. Med en prøvning herfra kan producenter og importører sælge produkterne i bl.a. EU.

Laboratorie til avanceret materialekarakterisering

FORCE Technologys materialelaboratorie råder over noget at det mest avancerede udstyr til avanceret overfladekarakterisering med tilhørende materialeanalyser.

Tribologi - friktion, mekanisk slid og smøring

Teknologisk Institut har faciliteter, hvor der kan arbejdes med belægninger til de fleste former for produktionsværktøjer, maskindele og færdige komponenter.

Ultraviolet radiometri

DFM tilbyder sporbare målinger af ultraviolet stråling dækkende både laboratorie- og feltmålinger. Kalibreringsydelserne er DANAK akkrediterede i henhold til ISO 17025.

Mekanisk test ved høje temperaturer

FORCE Technology råder i krybetest-laboratoriet over udstyr, der muliggør karakterisering og måling af materialeforandringer ved høje temperaturer.

Tryk- og kraftlaboratoriet

Kraftlaboratoriet består af Danmarks største fuldautomatiske kraftmaskine og er 5 gange mere nøjagtig end lignende kraftkalibreringsudstyr på det danske marked.