GTS-institutterne bringer ny teknologisk viden i spil i danske virksomheder

Læs mere

Danmarks teknologiske infrastruktur

Skatterometriske og Ellipsometriske målinger

Tyndfilm og strukturer med dimensioner på nanometerskala finder anvendelser i halvledere, mikroelektronikske og mikromekaniske systemer, biometriske apparater, samt optiske komponenter. Ikke-destruktiv karakterisering af sådanne strukturer er en vigtig del af kvalitetskontrollen i produktion og i udviklingen af nye produkter.

Skatterometri og ellipsometri er optiske teknikker til bestemmelse materialers egenskaber ud fra målinger af lysets refleksion samt ændringer i lysets polarisationen. Sådanne målinger giver information om materialers optiske egenskaber og tykkelse, samt dimensionerne af optiske gitre. Resultaterne opnås ved at sammenligne den målte polarisationsændring med en model af den fysiske prøve.

DFM udfører ellipsometri og skatterometriske målinger på tyndfilmsprøver og gitre:

  • Tyndfilm: Prøver med diametre fra 1” til 6” og filmtykkelser mellem 50 nm og 100 µm Eksempler på tyndfilmmaterialer inkluderer SiO2, HfO2, polymerer, Si, InP og glas. De bedste resultater opnås for prøver med store forskelle i brydningsindeks og optisk absorption.
  • Silicium gitre: Prøver med diametre fra 1” til 6”, arealer af gitre fra 1 mm2, perioder fra 300 nm til 1000 nm, højder fra 100 nm til 2000 nm.

DFMs ellipsometriske ydelser er målrettet metrologiske anvendelser via sporbarhed til SI meteren. Et gennemarbejdet usikkerhedsbudget tilbydes sammen med måleresultaterne.

De skatterometriske ydelser er målrettet industriel anvendelse og inkluderer målehastigheder ned til 10 ms. Udstyret er transportabelt, og målinger kan udføres hos kunden.

Målgruppe: Tyndfilmfabrikanter i halvlederindustrien, hurtig produktion inden for plastindustri og roll-to-roll fabrikation, samt producenter af optiske gitre til bl.a. telekomindustrien.



Læs mere



Services og ydelser tilknyttet faciliteten


Del med dine kolleger
Fra samme kategori

Visualisering af robotteknologi

Visualiseringsteknologier som virtual reality, mixed reality og augmented reality er efterhånden velkendte begreber inden for robotteknologien.

Akkrediteret EMC, testfaciliteter - radiodøde rum

FORCE Technology har elektromagnetisk skærmede/radiodøde rum til brug for emissionsmålinger, immunitetstest og ledningsbårne tests af elektrisk udstyr.

Metrologilaboratoriet - CT scanning

Teknologisk Institut er anerkendt for at have den største tekniske kompetence inden for metrologi på en række områder og er af Sikkerhedsstyrelsen udpeget som nationalt metrologilaboratorium.

Pilotproduktion af emballager

Teknologisk Institut tilbyder pilotpakning af alle typer af produkter inkl. fødevarer. Pilotpakkeanlægget er godkendt af myndighederne til at producere fødevarer til pilotsalg i detailhandlen.

Termisk sprøjtning - facilitet

Termiske sprøjtefaciliteter sikrer overflader, der er slidstærke, korrosionsforebyggende og levetidsforlængende.

Betonlaboratorie

FORCE Technology har mere end 50 års erfaring fra forskningsprojekter og kundesager på betonområdet, og vi har en række faciliteter til test og analyse af beton.